真空泵edwards 真空泵Edwards

国内哪家修EDWARDS爱德华真空泵比较好?

爱德华真空泵，目前国内有许多真空泵厂生产企业都可以维修。比如盐城博硕真空公司就维修过许多我们用的真空泵，品牌有国内上真的、浙真的；国外有里其乐、爱发科、莱宝、爱德华等品牌的真空泵。感觉比原厂维修点的价钱便宜若干倍，质量目前用起来还可以，基本上都没有出现什么问题。

真空泵edwards 真空泵Edwards

真空泵edwards 真空泵Edwards

五毛家的

爱德华真空泵EH2600的工作原理？

爱德华兹的网站：

真空泵工作原理都是持续的抽取气体，使一定体积的气体被隔离到泵里面的空间内，再排出去，这样容器里的气体会越来越稀薄，这样随着容器内气体越来越少，泵的抽气效率也会越来越低，到最终各个密封部分（包括容器和泵本身）的漏气速率和抽气速率一样，真空就不再提升。

产生真空的设备

产生真空的设备有多种，就自己了解的和大家分享一下。

1，真空发生器

真空发生器又叫文丘里管，是利用正压气源产生负压的一种器件，常和真空吸盘配合，用作物料的吸附，搬运。

其形成真空的原理是，当气流有粗变细而导致流速变大后，在气流的侧后方会形成“真空区”，当该真空区靠近物料时，就会对物料有吸附作用。其特点是结构简单，易于实现，缺点是形成的真空负压不大，比较好的真空负压能到几百Pa，主要应用在吸取样片，或者生活中常见的前面粉刷用的颜料喷涂等，用的就是这个原理。

真空发生器的结构及真空形成机理如下图所示。

2，真空泵

真空泵是利用机械，物理或者化学的方法对被抽容器进行抽气获得真空的器件或者设备。通俗的说，就是使用各种方法对某一封闭的空间产生，改善和维持真空的装置。

分类：根据其原理可以分为两种类型，气体输送泵和气体捕集泵。再往下细分，又可以分为多种，见下图。

2.1 气体输送泵

又叫气体容积式泵，通过密闭在泵腔内 容积的变化导致压强的变化 ，进而实现气体的输送（压强大的区域向压强小的区域输送气体）。

个人的理解，就像是生活中常见的打气筒。打气筒手柄上提的过程中，气筒内部的容积变大，压强减小，比大气压小，而此刻气筒外部的大气压是高于气筒内部，此时，大气会流向气筒内部，这样就是容积的扩大实现的了吸气；而手柄下压的过程，就是容积减小，相对于气筒外部是高于大气压，继而，气筒内部的气体输送到气筒外部，实现了排气。

2.2 气体捕集泵

气体捕集泵是通过合适的温度将气体冷凝到活性衬底上，比如活性炭。

3 真空泵的厂家

国内：中科科仪，沈阳科仪，北仪优成等。

国外：EDWARDS, ULVAC,AGILENT,PFEIFFER等。

Edwards IXL和IXH区别

1、爱德华EDWARDS半导体真空泵里的IXL是用于清洁工艺的干泵。

2、IXH用于严苛任务应用干泵。

3、二者之间的区别就是清洗运用之间的不同。

请问各位大侠化工行业主要用那么品牌的真空泵？

呵不多说！！！

1. 山东吉蒂纳氏。真空泵就是他和西门子的前身开发的。

2.山东华诚的，真空泵制造厂有限公司，开放初期和纳西母的合资工司。

3.广东佛山水泵厂，解放初期每一批由机械部引进德国技术的真空泵生产厂家，当时同一批引进的还有武汉水泵厂，武汉水泵厂以不存在了。

4.湖北同方高科泵业有限公司，做几年做电厂和化工厂比较猛的民营企业。

价格也是从高到低的。

佶缔纳士机械设备有限公司的液环真空泵。

国产泵不了解，进口的话一般来说爱德华，普旭，莱宝几家都不错，相对来说品牌和质量等方面爱德华更胜一筹，不过价格也会稍微贵一点，看取舍吧。

爱德华Edwards

爱德华真空泵ih600使用说明书

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度 600 m3h-1

353 cfm

10000 l min-1

极限真空 7 x 10-4 mbar

5.3 x 10-4 Torr

0.07 Pa

典型轴封氮流量 4 slm

进气口连接 ISO100

出口连接 NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1

4 l min-1

重量 415 kg

极限功率输入 3.4 kW

电机额定功率 6.1 kW

油容量 1.43 l

所有数字均为无气镇时的典型值。

尺寸

1 进气口

2 出口

3 抽风口

4 变频器箱（仅限 iH1000）